Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Теплофизика и аэромеханика

2025 год, номер 4

Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD

А.В. Петрова1, И.Н. Ляпустин1, В.С. Суляева2, А.И. Сафонов1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
koltekreit@gmail.com
2Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
veronica@niic.nsc.ru
Ключевые слова: газовый поток, разбавление, активация, фторполимер, строение, тонкие пленки
Страницы: 709-714

Аннотация

Рассмотрена возможность управления строением фторполимерного покрытия путем разбавления газа-предшественника инертным газом при синтезе методом осаждения из газовой фазы, активированной горячим проволочным катализатором (Hot Wire CVD). Показано, что разбавление газа-предшественника существенно влияет на строение формируемого покрытия, что приводит к изменению его смачиваемости и скорости роста формируемого покрытия.

DOI: 10.63430/TIA202504006
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять