Влияние обработки поверхности подложки на эрозионный износ поликристаллических алмазных покрытий, осаждаемых газоструйным методом
А.А. Емельянов1, М.Ю. Плотников1, Н.И. Тимошенко1, И.Б. Юдин1, В.Ю. Ульяницкий2, И.С. Батраев2 1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия alemelyanov@gmail.com 2Институт гидродинамики им. М. А. Лаврентьева СО РАН, Новосибирск, Россия ulianv@mail.ru
Ключевые слова: газоструйное осаждение, поликристаллическая алмазная пленка, сверхвысокочастотный разряд, эрозионный износ
Страницы: 56-62
Аннотация
Представлены результаты исследования эрозионного износа поликристаллического алмазного покрытия, осаждаемого на молибденовую подложку. До нанесения алмазного покрытия проводилась обработка поверхности молибденовой подложки потоком микрочастиц корунда или карбида кремния. Алмазное покрытие наносилось на подложку методом газоструйного осаждения из смеси H₂-CH₄-Ar, активированной в сверхвысокочастотном разряде. Установлено, что предварительная обработка поверхности подложки способствует повышению износостойкости получаемого алмазного покрытия
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее