ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ НЕЛИНЕЙНОГО ФОТОТЕРМИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА В ПРОЦЕССЕ ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ ОКСИДНЫХ ПЛЁНОК С РАЗЛИЧНЫМ КОЭФФИЦИЕНТОМ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ
С.Д. Полетаев, Г.В. Успленьев
Институт систем обработки изображений, НИЦ «Курчатовский институт», Самара, Россия sergpolet@gmail.com
Ключевые слова: лазерная абляция, дифракционный оптический элемент, поверхностные периодические микроструктуры, наностолбики, нелинейный фототермический эффект, разрешающая способность
Страницы: 105-113
Аннотация
Проведено исследование нелинейного фототермического эффекта, возникающего в процессе локальной лазерной абляции плёнок оксидов металлов с различной теплопроводностью. Показано, что ширина треков монотонно уменьшается при изменении коэффициента теплопроводности в пределах от 25 до 1 Вт/(м · К). Установлено, что умеренное уменьшение теплопроводности плёнки не приводит к значительному сокращению ширины трека. Сделан вывод о совместном влиянии на минимальную ширину трека коэффициента теплопроводности и фактора теплового разгона, который вносит дополнительную нелинейность в процесс нагрева оксидной плёнки.
DOI: 10.15372/AUT20240611 |