ЧЁРНЫЙ Al НА SiON, ПОЛУЧЕННЫЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
О.В. Наумова, А.В. Царев, Э.Г. Зайцева, А.Ю. Петин, Ю.А. Живодков, С.А. Пономарев, А.С. Ярошевич
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
naumova@isp.nsc.ru
Ключевые слова: плёнки, чёрный алюминий, магнетронное распыление
Страницы: 20-25
Аннотация
Исследованы электрические, морфологические и оптические свойства тонких плёнок Al, полученных методом магнетронного распыления на слои SiON. Установлено, что рост плёнок Al на SiON подчиняется механизму Странского - Крастанова. На стадии 3D-роста формируются плёнки с кластерной структурой зёрен Al и размером пор до 20-50 нм. Для структур на основе мультислоёв пористый Al/SiON наблюдается поглощение до ∼82 % в диапазоне 1-4,2 мкм с красным смещением при увеличении числа слоёв. Анализ оптических потерь пористых плёнок Al, проведённый методом численного моделирования, показал наличие оптических полос поглощения с линейным увеличением положения максимума поглощения λmax при увеличении толщины плёнки Al, а также смещение λmax в длинноволновую область при уменьшении размера кластеров Al и пор между ними.
DOI: 10.15372/AUT20240403 |
