Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.218.134.4
    [SESS_TIME] => 1727408581
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 4aae78fffa0dc2a9fa9e049f4f6f2e2f
    [UNIQUE_KEY] => 2c946c5c8ada8e039207a0d781550ac2
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

    [SESS_OPERATIONS] => Array
        (
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2024 год, номер 4

СКАЛЫВАНИЕ ТВЁРДЫХ ПЛЁНОК СУБМИКРОННОЙ ТОЛЩИНЫ КАК МЕТОД ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОПЕРЕЧНЫХ СРЕЗОВ ГЕТЕРОСТРУКТУР ДЛЯ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕЙ МИКРОСКОПИИ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ

А.Б. Воробьёв, А.К. Гутаковский, В.Я. Принц
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
alex@isp.nsc.ru
Ключевые слова: просвечивающая электронная микроскопия, атомное разрешение, свободная тонкая плёнка, поперечный срез, хрупкая трещина, скалывание
Страницы: 3-13

Аннотация

Подробно описан метод препарирования, позволяющий получить бездефектные поперечные срезы гетероструктур для просвечивающей электронной микроскопии и обеспечивающий достижение атомного разрешения на большой площади. Метод проиллюстрирован примерами изучения гетерограниц сложной формы, селективного окисления и селективного травления сверхрешёток.

DOI: 10.15372/AUT20240401
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину