Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.144.18.252
    [SESS_TIME] => 1721223156
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => edaf3a7127dbc04123d87e30d3e84642
    [UNIQUE_KEY] => 422a9d28cf2ac425c1928d92d814098e
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

    [SESS_OPERATIONS] => Array
        (
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2024 год, номер 3

УРАВНЕНИЕ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ ДЛЯ СТРУКТУРЫ ПОДЛОЖКА - ОДНООСНАЯ АНИЗОТРОПНАЯ ПЛЁНКА С ОПТИЧЕСКОЙ ОСЬЮ В ПЛОСКОСТИ ПАДЕНИЯ

В.А. Швец, И.А. Азаров, Е.В. Спесивцев
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
basil5353@mail.ru
Ключевые слова: оптическая анизотропия, эллипсометрия, одноосный кристалл
Страницы: 32-40

Аннотация

Представлено решение прямой задачи эллипсометрии для однослойной модели изотропная подложка - анизотропная плёнка в случае ориентации оптической оси плёнки в плоскости падения. Получены аналитические выражения для расчёта эллипсометрических параметров такой структуры. Предложен простой численный алгоритм определения обыкновенного ( no ) и необыкновенного ( ne ) показателей преломления объёмного кристалла при различных условиях измерения. Рассматривается обратная задача определения no , ne и толщины плёнки d при изменении азимута оптической оси. Обсуждается проблема корреляции искомых параметров для такой задачи.

DOI: 10.15372/AUT20240303
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину