АТОМНО-СИЛОВАЯ ВИЗУАЛИЗАЦИЯ ПРОВОДИМОСТИ И МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ BCx-ПЛЁНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО НАПЫЛЕНИЯ
П.В. Зинин1, А.А. Быков1, Р.И. Романов2, А.А. Корнеева1, А.В. Андреев1, А.Ю. Белых1, С.Ю. Краснобородько1, В.А. Кукушкин1
1Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва, Россия
zosimpvz@mail.ru
2Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ, Москва, Россия
limpo2003@mail.ru
Ключевые слова: лазерное напыление, BC, алмазоподобные плёнки, проводящие плёнки
Страницы: 81-87
Аннотация
Материалы с нестандартными физическими свойствами широко востребованы в разных областях науки и техники, начиная от микроэлектроники и заканчивая тяжёлыми промышленными установками. В своё время международными научными коллективами проведены математические расчёты, показывающие, что наиболее перспективными являются соединения B-C-структур, которые при определённых внешних условиях и соотношениях концентраций обладают сильными химическими sp2- и sp3-связями. Таким материалам характерна высокая твёрдость, стойкость к агрессивным средам, а также возникает свойство электропроводности. Данная работа направлена на синтез и исследование углеродсодержащих плёнок ВСx . Представлены результаты измерения тонкой плёнки BC5. Получены спектральные характеристики плёнки, данные о толщине её слоя, проводимости и составе при помощи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.
DOI: 10.15372/AUT20240210
EDN: IJDVZJ
|
