"МОДИФИКАЦИЯ ФОРМЫ ВЕРТИКАЛЬНЫХ НАНОПРОВОЛОК В ПРОЦЕССЕ ОТЖИГА"
"А.Г. Настовьяк1,2, Н.Л. Шварц1,2"
"1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия alla@isp.nsc.ru 2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия nataly.shwartz@gmail.com"
Ключевые слова: нанопроволоки, отжиг, реадсорбция
Страницы: 56-65
Аннотация
Выполнен численный расчёт изменения формы вертикальных нанопроволок в процессе отжига за счёт реадсорбции вещества, испаряемого с соседних проволок и подложки. Расчёт проводился в соответствии с моделью испарения из набора сферически-симметричных источников и моделью Кнудсена - Ламберта. Проанализировано влияние на форму нанопроволок аспектного отношения длины проволок к расстоянию между ними и скоростей испарения материала с боковой поверхности нанопроволок и с подложки.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее