ДИФРАКЦИОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ ФРАУНГОФЕРА В КОГЕРЕНТНОМ СВЕТЕ НА ПРОТЯЖЁННОМ АСИММЕТРИЧНОМ КРАЕ С ОТРАЖАЮЩЕЙ (СЕРОЙ) ВНУТРЕННЕЙ ГРАНЬЮ
Ю.В. Чугуй
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, нструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск, Россия
chugui@tdisie.nsc.ru
Ключевые слова: дифракция Френеля и Фраунгофера на протяжённых объектах постоянной толщины, фурье-оптика, объёмный отражающий край, оптический размерный контроль
Страницы: 119-131
Аннотация
С использованием модели эквивалентных транспарантов исследованы дифракционные явления Фраунгофера в когерентном свете на протяжённом объекте постоянной толщины в виде объёмного асимметричного края со скосом и плоской отражающей (серой) внутренней поверхностью объекта, характеризуемой модулем амплитудного коэффициента отражения света и сдвигом фазы в отражённой волне. Показано, что поле в дальней зоне может быть представлено в виде двух компонент: проходящей и отражённой, первая из которых соответствует дифракции света на абсолютно поглощающем асимметричном крае, а вторая описывает дифракционные явления на объёмной структуре в виде бипланарной щели, освещённой плоской волной света. На основе конструктивной аппроксимации интегральной функции Френеля получено в аналитическом виде выражение для спектра объекта, исходя из которого можно исследовать поведение полей в дальней зоне. Показано, что в случае большого скоса объекта основной вклад в поле даёт отражённая компонента. Предложены способы определения геометрических параметров объекта путём измерения положения центрального максимума отражённой компоненты и его эффективной ширины.
DOI: 10.15372/AUT20230512 |
