Измерение температуры расплава кремния при электронно-пучковом рафинировании
В.Г. Щукин, В.О. Константинов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия shckukin@itp.nsc.ru
Ключевые слова: пирометрические измерения, температура расплава материалов, рафинирование кремния, электронно-пучковая плазма
Страницы: 39-44
Аннотация
Предложен способ измерения температуры расплава кремния при плазмохимическом электронно-пучковом рафинировании, основанный на измерении интенсивности излучения от поверхности расплава материала в ИК-диапазоне и сопоставлении ее с температурой. Установлено, что путем изменения условий рафинирования, в частности силы тока электронного пучка, можно изменять температуру очищаемого кремния в диапазоне 1500 ÷ 2600 К
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее