Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика / Journal of Applied Mechanics and Technical Physics

2023 год, номер 5

Измерение температуры расплава кремния при электронно-пучковом рафинировании

В.Г. Щукин, В.О. Константинов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
shckukin@itp.nsc.ru
Ключевые слова: пирометрические измерения, температура расплава материалов, рафинирование кремния, электронно-пучковая плазма
Страницы: 39-44

Аннотация

Предложен способ измерения температуры расплава кремния при плазмохимическом электронно-пучковом рафинировании, основанный на измерении интенсивности излучения от поверхности расплава материала в ИК-диапазоне и сопоставлении ее с температурой. Установлено, что путем изменения условий рафинирования, в частности силы тока электронного пучка, можно изменять температуру очищаемого кремния в диапазоне 1500 ÷ 2600 К

DOI: 10.15372/PMTF202315323
EDN: IWOUZY
Скачать pdf-версию статьи



Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее
Отказаться Принять