ДВУМЕРНЫЕ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ В МЭМС-СТРУКТУРАХ С НАНОЗАЗОРОМ
А.А. Соколов, С.Д. Иванов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия sokolovaa@iae.nsk.su
Ключевые слова: МЭМС, микробалка, пластина, двумерная система
Страницы: 19-23
Аннотация
Для создания микроэлектромеханических систем (МЭМС) большой удельной механической мощности используется система «подвижный электрод - нанометровый зазор - тонкая кристаллическая плёнка материала с большим значением диэлектрической проницаемости - неподвижный электрод». Показано, что в этой системе возникают двумерные электромеханические волны. Возникновение таких возбуждений ограничивает предельную удельную мощность электромеханических преобразователей-актуаторов, МЭМС-двигателей и генераторов. Однако это явление открывает широкие возможности применения подобных структур.
DOI: 10.15372/AUT20230303 EDN: LWZZRG
|