ВЛИЯНИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЁНОК МОЛИБДЕНА НА ПРОЦЕСС ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ
С.Д. Полетаев
"ИСОИ РАН, "Кристаллография и фотоника" РАН, г. Самара, Россия sergpolet@gmail.com"
Ключевые слова: моделирование COMSOL, тонкие плёнки, лазерная абляция, дифракционная решётка, разрешающая способность
Страницы: 105-114
Аннотация
В работе путём численного моделирования исследовано влияние изменения теплофизических свойств плёнки молибдена при промежуточном окислении в процессе лазерной абляции на размерный эффект формирования трека. В соответствии с полученными данными произведено уточнение гипотезы, объясняющей сокращение ширины трека в зоне абляции плёнки по сравнению с эффективным диаметром лазерного пучка. Показано, что специфическое изменение коэффициента теплопроводности вещества в момент окисления оказывает значительное влияние на распределение температурного поля, выражаемое в сужении характеристики распределения температуры по поверхности плёнки, что ранее не рассматривалось. Установлено, что изменения плотности, удельной теплоёмкости и теплового эффекта химической реакции окисления молибдена в процессе окисления плёнки не оказывают существенного влияния на распределение температуры в зоне воздействия лазерного пучка.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее