Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза
А.А. Емельянов, В.А. Пинаев, М.Ю. Плотников, А.К. Ребров, Н.И. Тимошенко, И.Б. Юдин
"Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия alemelyanov@gmail.com"
Ключевые слова: газоструйный синтез алмаза, микроволновая плазма, оптическая эмиссионная спектроскопия, газодинамические измерения
Страницы: 54-61
Аннотация
Представлены результаты оптического и газодинамического исследования плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза и проведен их анализ с целью определения температуры и состава смеси в разрядной камере для дальнейшей оптимизации метода. Исследовано влияние расхода подаваемой газовой смеси на макропараметры потока смеси газа на выходе из разрядной камеры. Измеренные в разрядной камере значения давления и температуры использованы для численного анализа состава смеси в зависимости от расхода подаваемого газа. Показано, что состав смеси на выходе из разрядной камеры коррелирует со скоростью синтеза алмазных структур.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее