Оптические и газодинамические измерения в потоке плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза
А.А. Емельянов, В.А. Пинаев, М.Ю. Плотников, А.К. Ребров, Н.И. Тимошенко, И.Б. Юдин
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
alemelyanov@gmail.com
Ключевые слова: газоструйный синтез алмаза, микроволновая плазма, оптическая эмиссионная спектроскопия, газодинамические измерения
Страницы: 54-61
Аннотация
Представлены результаты оптического и газодинамического исследования плазмы СВЧ-разряда в условиях газоструйного синтеза алмаза и проведен их анализ с целью определения температуры и состава смеси в разрядной камере для дальнейшей оптимизации метода. Исследовано влияние расхода подаваемой газовой смеси на макропараметры потока смеси газа на выходе из разрядной камеры. Измеренные в разрядной камере значения давления и температуры использованы для численного анализа состава смеси в зависимости от расхода подаваемого газа. Показано, что состав смеси на выходе из разрядной камеры коррелирует со скоростью синтеза алмазных структур.
DOI: 10.15372/PMTF20220306 |
