"РАСШИРЕНИЕ ДОПУСТИМЫХ ПРЕДЕЛОВ КРИВИЗНЫ ОСЕСИММЕТРИЧНЫХ 3D-ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ ЗАПИСИ МИКРОРЕЛЬЕФА"
В.П. Кирьянов
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск, Россия kiryanov@iae.nsk.su"
Ключевые слова: автоматическая фокусировка, оптические 3D-поверхности, нож Фуко, датчик расфокусировки
Страницы: 19-23
Аннотация
Анализируется функционирование системы автоматической фокусировки излучения технологических лазеров на оптические 3 D -поверхности, реализованной в оптической головке записи лазерного генератора изображений модели ЛГИ-2. Обсуждаются причины серьёзных ограничений по допустимому наклону поверхности записи. Предлагается альтернативное решение, позволяющее существенно увеличить допустимый угол наклона осесимметричных поверхностей, на которых должна проводиться запись топологии микроструктур.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее