Повышение устойчивости оптической системы лазерного источника на основе позиционно-чувствительного датчика
L. HONGDA1, М.В. АНДРЕЕВ2, Ю.Н. ПАНЧЕНКО2, А.В. ПУЧИКИН2
1Shenyang Ligong University, Liaoning, No.6, Шэньян, Китай
308544490@qq.com
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
andreevmv_86@mail.ru
Ключевые слова: KrF-лазер, автоматизация юстировки, оптическая система, методы фильтрации
Страницы: 330-334
Аннотация
Представлены результаты численных и экспериментальных исследований по контролю и управлению оптическими элементами электроразрядного KrF-лазера с помощью метода пространственной кластеризации на основе плотности для приложений с шумами (англ. DBSCAN). Рассмотрены различные методы обработки цифровых сигналов, полученных с позиционно-чувствительного датчика, контролирующего положение оптической оси лазерной системы. Разработана численная модель устойчивости оптической системы на основе метода DBSCAN с дополнительным включением обработки цифровых сигналов с использованием кумулятивного скользящего среднего. Предложена и реализована методика коррекции управляемых зеркал с точностью их возврата в исходное положение 60 ± 10 мкрад, при этом время юстировки не превышало 5 мин.
DOI: 10.15372/AOO20220414 |
