Исследование лазерно-водоструйной обработки карбида кремния
Ю. Чэнь1, С. Ли1, С. Чэнь2, Х. Ли1, С. Сюй2
1Технологический университет Хэфэй, Хэфэй, 30009, Китай chenyuanlong@hfut.edu.cn 2Университет им. Цзяньчжу провинции Аньхой, Хэфэй, 230601, Китай xhenxh@163.com
Ключевые слова: лазерно-водоструйная обработка, карбид кремния, угол наклона струи, скорость струи
Страницы: 16-22
Аннотация
Исследуется влияние скорости струи воды и угла ее наклона на свойства поверхности после ее лазерно-водоструйной обработки. Установлено, что с увеличением угла наклона струи воды глубина лазерно-водоструйной обработки поверхности увеличивается, однако скорость увеличения уменьшается, если угол наклона струи воды увеличивается с 60 до 75°. При увеличении скорости струи воды глубина лазерно-водоструйной обработки поверхности увеличивается.
DOI: 10.15372/PMTF20220103 |