Управление свойствами сегнетоэлектрической пленки BaxSr1-xTiO3
В.Б. Широков1,2, П.Е. Тимошенко2, В.В. Калинчук1
1Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, 344006, Россия
shirokov.ssc@gmail.com
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, 344006, Россия
p.e.timoshenko@gmail.com
Ключевые слова: сегнетоэлектрическая пленка, феноменологическая модель, термоупругая деформация, начальная деформация, начальные напряжения, поверхностные акустические волны, коэффициент электромеханической связи
Страницы: 80-88
Аннотация
Предложен один из способов управления свойствами тонких сегнетоэлектрических пленок, находящихся в условиях вынужденной деформации, обусловленной несоответствием размеров кристаллических решеток материалов пленки и подложки, а также различием коэффициентов их теплового расширения. Управление осуществляется за счет дополнительной механической деформации подложки. В рамках феноменологической теории с использованием потенциала Ландау исследована модель монокристаллической пленки BaxSr1-xTiO3. Показано, что при дополнительной одноосной деформации подложки в пленке BaxSr1-xTiO3 материальные постоянные пленки изменяются. Аномальное изменение происходит при значениях деформации, близких к значениям, при которых происходит изменение фазового состояния пленки. Исследован процесс генерации поверхностных акустических волн. Результаты моделирования свидетельствуют о возможности управления возбуждением поверхностных акустических волн в гетероструктуре пленка - кремниевая подложка.
DOI: 10.15372/PMTF20210508 |
