Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.191.202.48
    [SESS_TIME] => 1732185123
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => cd06f51a2c66ababa98a4709964238e4
    [UNIQUE_KEY] => d98f5e3646825356dc22b75b1e39c805
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

    [SESS_OPERATIONS] => Array
        (
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2020 год, номер 4

ОБЗОР ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ НА КРЕМНИИ - ПРОГНОЗЫ И ИТОГИ ДЕСЯТИЛЕТИЯ [ПРИГЛАШЁННАЯ СТАТЬЯ]

А.В. Царев1,2
1Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
tsarev@isp.nsc.ru
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: кремний-на-изоляторе, оптический сенсор, канальный волновод, щелевой волновод, оптический резонатор, фотонный кристалл, субволновая решётка, решёточный элемент связи, эффект Вернье, silicon on insulator, optical sensor, channel waveguide, slot waveguide, optical cavity, photonic crystal, sub-wavelength grating, grating coupler, Vernier effect
Страницы: 111-133

Аннотация

Кремниевая фотоника является важнейшей технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причём в последние годы 20 % всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Даётся краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счёт выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.

DOI: 10.15372/AUT20200413
Скачать pdf-версию статьи