ГИГАГЕРЦОВЫЙ MEMS-ГЕНЕРАТОР ТАКТОВОЙ ЧАСТОТЫ
Э.Г. Косцов, А.А. Соколов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1 kostsov@iae.nsk.su
Ключевые слова: генератор частоты, автоколебания, устойчивый предельный цикл, математическая модель, clock frequency generator, self-supported oscillations, stable limiting cycle, mathematical model
Страницы: 61-69 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
В современной микроэлектронике интенсивно развивающимся сектором являются микроэлектромеханические системы (MEMS - MicroElectroMechanical Systems). Рассматриваются вопросы создания нового MEMS-генератора тактовой частоты, способного функционировать на гигагерцовых частотах. Проведён анализ основных закономерностей возникновения и поддержания вынужденных колебаний подвижного электрода под действием сил электростатики. Показана возможность поддержания таких колебаний в условиях высоких инерциальных перегрузок (до 106 g и более). Создана математическая модель микроосциллятора, описаны основные режимы его функционирования.
DOI: 10.15372/AUT20190207 |