ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ МОНОХРОМАТОР ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО И МЯГКОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ДИАПАЗОНОВ ДЛЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СТАНЦИИ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
П.С. Заверткин1, Д.В. Ивлюшкин1, М.Р. Машковцев1, А.Д. Николенко1, С.А. Сутормина1, Н.И. Чхало2
1Институт ядерной физики СО РАН им. Г. И. Будкера, 630090, г. Новосибирск, Академика Лаврентьева, 11 A.D.Nikolenko@inp.nsk.su 2Институт физики микроструктур РАН, 603950, г. Нижний Новгород, ГСП-105
Ключевые слова: синхротронное излучение, мягкий рентген, метрология, монохроматор, synchrotron radiation, soft x-rays, metrology, monochromator
Страницы: 5-13 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Представлен монохроматор метрологической станции синхротронного излучения «Космос». Приведены результаты тестирования монохроматора в поддиапазоне энергий 2000-6000 эВ с использованием кристаллов Si (111). Получено спектральное разрешение на уровне ∆E/E = 10-4. Описана методика проверки спектральной чистоты полученного монохроматического излучения. Отмечена возможность использования монохроматора для спектроскопических измерений в указанном поддиапазоне.
DOI: 10.15372/AUT20190201 |