РАСЧЁТ И АНАЛИЗ ИМПУЛЬСНОГО ОТКЛИКА ПРОЕКЦИОННЫХ ПРОСТРАНСТВЕННО-НЕИНВАРИАНТНЫХ СИСТЕМ
Ю.В. Чугуй1,2,3
1Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41 chugui@tdisie.nsc.ru 2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2 3Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20
Ключевые слова: дифракция света, телецентрические проекционные системы, фурье-оптика, размерный контроль, light diffraction, telecentric projection systems, Fourier optics, dimensional inspection
Страницы: 34-47 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
В рамках волновой оптики исследованы характеристики широко используемых на практике пространственно-неинвариантных проекционных систем телецентрического типа. В классе френелевских функций строго рассчитан импульсный отклик системы в зависимости от апертур проекционного объектива и фильтра. Установлено, что он состоит из двух компонент, одна из которых в основном определяет инвариантные свойства системы, а другая - неинвариантные. На базе предложенной нами ранее аппроксимации френелевской функции элементарными функциями впервые найдено в аналитическом виде выражение для импульсного отклика и исследовано его поведение при различных соотношениях апертур объектива и фильтра. Проанализирована корректность выбора параметров известных квазиинвариантных оптических систем. Для улучшения их пространственно-инвариантных характеристик дана рекомендация по выбору апертуры фильтра. Данный подход в отличие от известных оптико-геометрических позволяет получить достоверную информацию о характере преобразований волновых полей в рассматриваемых системах.
DOI: 10.15372/AUT20180604 |