Измерение температуры и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме аргона
В.О. Константинов, В.Г. Щукин, Р.Г. Шарафутдинов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия konstantinov@itp.nsc.ru
Ключевые слова: зондовая диагностика, электронно-пучковая плазма, электронная пушка с полым катодом, probe diagnostics, electron-beam plasma, hollow cathode electron gun
Страницы: 115-122
Аннотация
Представлены результаты измерений температуры и концентрации вторичных электронов в свободной струе аргона, активированной в электронно-пучковой плазме, которые проводились с помощью двойного электростатического зонда Ленгмюра. На прототипе холодного плазмотрона при энергии первичного пучка 1 кэВ получена струя плотной холодной плазмы с поперечным размером, приблизительно равным 80 мм, и параметрами, при которых возможно осаждение слоев кремния с необходимыми характеристиками в форвакуумном диапазоне давлений.
DOI: 10.15372/PMTF20180514 |