УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ ДИФРАКЦИОННОЙ КАРТИНЫ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ В ШИРОКОМ УГЛОВОМ ДИАПАЗОНЕ
Д.А. Белоусов, А.Г. Полещук, В.Н. Хомутов
"Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
d.a.belousov91@gmail.com"
Ключевые слова: дифракционная оптика, синтезированные голограммы, компьютерная оптика, обработка изображений, измерительные системы, diffraction optics, synthesized holograms, computer optics, image processing, measurement systems
Страницы: 35-42
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Представлены результаты разработки и исследования устройства для регистрации и анализа дифракционной картины синтезированных голограмм. Показано, что устройство позволяет регистрировать дифракционную картину излучения, отражённого от поверхностного микрорельефа исследуемого элемента или прошедшего через него, в угловом диапазоне дифракции порядка ±90º и 360º по азимутальному углу. Описана возможность определения периодов, скважности и угловой ориентации дифракционных структур, а также дифракционной эффективности всех дифракционных порядков исследуемого элемента. Разработанное устройство предназначено для оперативного контроля глубины и формы микрорельефа синтезированных голограмм в процессе производства.
DOI: 10.15372/AUT20180204
|
