Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.144.95.167
    [SESS_TIME] => 1735866056
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => ef747f6188d93f8c1affae5f88bf3d40
    [UNIQUE_KEY] => 24c6be7966814e9cc37eae1b3c5c75cb
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2018 год, номер 2

ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРООПТИКЕ. Ч. II. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ С ТРЁХМЕРНЫМ МИКРОРЕЛЬЕФОМ

А.Г. Полещук1, В.П. Корольков1, В.П. Вейко1,2, Р.А. Заколдаев2, М.М. Сергеев2
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
poleshuk.a.g.@mail.ru
2Hациональный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский просп., 49
VadimVeiko@mail.ru
Ключевые слова: микрооптика, прямая лазерная запись, полутоновая фотолитография, фоторастровый метод, микроплазма, micro-optics, direct laser writing, halftone photolithography, scanning method, microplasma
Страницы: 3-19
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Аннотация

Представлен обзор исследований, выполненных в области разработки процессов формирования 3D -микрорельефа оптических элементов с применением как прямого лазерного воздействия на различных длинах волн, так и фотолитографических технологий на основе фотошаблонов, изготовленных путём лазерной записи. Рассмотрены типовые характеристики рельефа, ограничения и преимущества, свойственные представленным методам.

DOI: 10.15372/AUT20180201
Скачать pdf-версию статьи