ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРООПТИКЕ. Ч. II. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ С ТРЁХМЕРНЫМ МИКРОРЕЛЬЕФОМ
"А.Г. Полещук1, В.П. Корольков1, В.П. Вейко1,2, Р.А. Заколдаев2, М.М. Сергеев2"
"1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
poleshuk.a.g.@mail.ru
2Hациональный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101, Санкт-Петербург, Кронверкский просп., 49
VadimVeiko@mail.ru"
Ключевые слова: микрооптика, прямая лазерная запись, полутоновая фотолитография, фоторастровый метод, микроплазма, micro-optics, direct laser writing, halftone photolithography, scanning method, microplasma
Страницы: 3-19
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Представлен обзор исследований, выполненных в области разработки процессов формирования 3D -микрорельефа оптических элементов с применением как прямого лазерного воздействия на различных длинах волн, так и фотолитографических технологий на основе фотошаблонов, изготовленных путём лазерной записи. Рассмотрены типовые характеристики рельефа, ограничения и преимущества, свойственные представленным методам.
DOI: 10.15372/AUT20180201
|
