АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ПРИБОРЫ ВНИИОФИ
Г.Н. Вишняков, Г.Г. Левин, В.Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, 119361, Москва, ул. Озёрная, 46 vish@vniiofi.ru
Ключевые слова: интерферометр, интерферометр Линника, интерференционный микроскоп, метод фазовых шагов, interferometer, Linnik interferometer, interference microscope, phase stepping method
Страницы: 131-138 Подраздел: ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ И ПРИБОРЫ
Аннотация
Дан обзор современной аппаратуры для автоматизированных интерференционных измерений, разработанной во ФГУП «ВНИИОФИ». Представлены три типа интерференционных микроскопов, основанных на схемах интерферометра Линника, Тваймана - Грина и Физо с использованием метода фазовых шагов.
DOI: 10.15372/AUT20170513 |