ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОУРОВНЕВОГО МИКРОРЕЛЬЕФА В ТОНКИХ ПЛЁНКАХ ГИБРИДНОГО ФОТОПОЛИМЕРНОГО МАТЕРИАЛА НА ОСНОВЕ ТИОЛ-СИЛОКСАНОВЫХ И АКРИЛАТНЫХ ОЛИГОМЕРОВ
Н.Г. Миронников1,2, В.П. Корольков1,2, Д.И. Деревянко3, В.В. Шелковников3,4
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
mironnikov.nikolay@gmail.com
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
victork@iae.nsk.su
3Институт органической химии им. Н. Н. Ворожцова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 9
dmitryderevianko@gmail.com
4Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20
vvice@nioch.nsc.ru
Ключевые слова: гибридный фотополимер, тиол-силоксан-акрилатные олигомеры, лазерная запись, фотолитография, многоуровневые дифракционные структуры, характеристическая кривая, hybrid photopolymer, thiol-siloxane-acrylate oligomers, laser recording, photolithography, multilevel diffraction structures, characteristic curve
Страницы: 57-65
Подраздел: ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА
DOI: 10.15372/AUT20170506 |
