ДИФРАКЦИОННЫЙ ФОКУСИРУЮЩИЙ МУЛЬТИПЛИКАТОР ДЛЯ ПАРАЛЛЕЛЬНОГО МНОГОКАНАЛЬНОГО СЕКВЕНАТОРА
В.П. Бессмельцев1, П.С. Завьялов2, В.П. Корольков1, Р.К. Насыров1, В.С. Терентьев1
1Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
bessmelt@iae.nsk.su
2Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, 630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41
zavyalov@tdisie.nsc.ru
Ключевые слова: дифракционный оптический элемент, фокусирующий дифракционный мультипликатор, параллельный секвенатор, прямая лазерная запись на фоторезисте, diffractive optical element, diffractive focusing fan-out element, parallel sequencer, direct laser writing on a photoresist
Страницы: 48-56
Подраздел: ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА
Аннотация
Рассмотрены вопросы создания и применения для задач ДНК-секвенирования и микроскопии дифракционных оптических элементов, формирующих из одного лазерного пучка с малой расходимостью матрицу сходящихся пучков с дифракционным размером сфокусированных пятен в плоскости освещения объекта. Расчёт и оптимизация параметров элементов выполнялись в приближении теории дифракции Френеля - Кирхгофа. Дифракционные элементы изготавливались методом прямой лазерной записи на фоторезисте с помощью круговой лазерной записывающей системы. Представлены экспериментальные характеристики дифракционного элемента, создающего матрицу размера 33 x 33 пучка, которые фокусируются на расстоянии 210 мм в одной плоскости. Степень неоднородности интенсивностей пучков, определяемая отношением интенсивностей пучков в центральной области к интенсивностям периферийных пучков, составляет 1/2,5, что потенциально достаточно для использования в задачах ДНК-секвенирования. При этом величина максимальных дисторсионных искажений положений пятен на всём поле области фокусировки < 0,15 %.
DOI: 10.15372/AUT20170505 |
