Синтез алмазных структур из струи смеси Н2 + СН4 в спутном осесимметричном потоке водорода
А.К. Ребров, А.А. Емельянов, М.Ю. Плотников, И.Б. Юдин
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия rebrov@itp.nsc.ru
Ключевые слова: алмазные структуры, газоструйное осаждение, термическая активация, прямое статистическое моделирование, diamond structures, gas jet deposition, thermal activation, Direct Simulation Monte Carlo method
Страницы: 142-150
Аннотация
С целью развития газофазного метода осаждения алмазных структур методом прямого статистического моделирования исследовано течение смеси водорода с метаном через коаксиальные нагретые вольфрамовые цилиндрические каналы со встроенной в них вольфрамовой спиралью. На основе решения системы уравнений химической кинетики рассчитывались аксиальные распределения концентраций компонентов водородно-углеродной смеси. Проведена серия экспериментов по осаждению алмазных структур из различных потоков смеси водорода и метана. Проведено сравнение результатов расчетов и экспериментальных данных, позволившее сделать вывод о возможности использования расчетной оптимизации режимов работы газодинамических реакторов при осаждении алмазных структур.
DOI: 10.15372/PMTF20170514 |