Мощные газоразрядные эксимерные ArF-, KrCl-, KrF- и XeCl-лазеры на газовых смесях без буферного газа
А.М. РАЖЕВ1,2, Е.С. КАРГАПОЛЬЦЕВ1, Д.С. ЧУРКИН1,3
1Институт лазерной физики СО РАН, 630090, г. Новосибирск, пр. Академика Лаврентьева, 13/3 razhev@laser.nsc.ru 2Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, пр. К. Маркса, 20 3Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2 churkin@laser.nsc.ru
Ключевые слова: бинарная газовая смесь, эксимерный лазер, поперечный объемный электрический разряд, газовая смесь без буферного газа, пониженное рабочее давление, энергия генерации, полный кпд, binary gas mixture, excimer laser, transverse electrical volume discharge, gas mixture without a buffer gas, low operating pressure, laser energy, full efficiency
Страницы: 106-111
Аннотация
Представлены результаты экспериментального исследования влияния состава газовой смеси (активной среды лазера) на энергию генерации и полный кпд эксимерных газоразрядных ArF- (193 нм), KrCl- (222 нм), KrF- (248 нм) и XeCl-лазеров (308 нм), работающих на газовых смесях без применения буферного газа. Найдены оптимальные (с точки зрения максимальной энергии излучения) соотношения газовых компонентов активной среды эксимерных лазеров, при которых достигается эффективная работа с достаточно высоким значением выходной энергии лазерного излучения. Экспериментально подтверждено, что для газоразрядных эксимерных лазеров на галогенидах инертных газов присутствие в активной среде буферного газа не является необходимым условием эффективной работы лазерного источника. Так, например, в бинарных газовых смесях эксимерных лезеров, содержащих рабочий инертный и галогенсодержащий газы, впервые для импульсно-периодических газоразрядных эксимерных лазеров, работающих на электронных переходах эксимерных ArF*-, KrCl*-, KrF*- и XeCl*-молекул при накачке поперечным объемным электрическим разрядом газовой смеси пониженного давления, не содержащей буферного газа, были получены энергия лазерного излучения в импульсе до 170 мДж и высокая импульсная мощность лазерного излучения до 24 МВт. Максимальное значение полного кпд, полученное в эксперименте для бинарных газовых смесей KrF- и XeCl-лазеров, достигло 0,8%.
DOI: 10.15372/AOO20160204 |