СТРУКТУРА ПЛАТИНОВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Н.В. Гельфонд1, В.В. Крисюк1, С.И. Доровских1, Д.Б. Кальный1,2, Е.А. Максимовский1, Ю.В. Шубин1,2, С.В. Трубин1, Н.Б. Морозова1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3
reter16@yandex.ru
2Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, 630090 Россия, Новосибирск, ул. Пирогова, 2
Ключевые слова: платиновые покрытия, MOCVD, бис(ацетилацетонат) платины(II), катоды и аноды электрокардиостимуляторов, platinum coatings, MOCVD, platinum(II) bis(acetylacetonate), pacemaker cathodes and anodes
Страницы: 1270-1275
Аннотация
Методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD) с использованием бис(ацетилацетоната) платины(II) (Pt(acac)2) впервые получены платиновые покрытия на электрических полюсах катодов и анодов электрокардиостимуляторов. Процессы осаждения проводили при пониженном давлении в присутствии кислорода. Фазовый и элементный состав, структуру и морфологию покрытий исследовали методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии, сканирующей электронной микроскопии и энергодисперсионной спектроскопии. Платиновые покрытия со столбчатой структурой получены в интервале температур 280-340 °C. Повышение температуры осаждения приводит к изменению строения покрытий и уменьшению их толщины. Методом цикловольтамперометрии оценены значения удельной емкости платиновых покрытий на катодах и анодах, максимальные величины которых составили 426 и 1160 мКл/см2 соответственно.
DOI: 10.15372/JSC20150634 |
