ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNyFez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)
Р.В. Пушкарёв1, Н.И. Файнер1, К.К. Маурия2
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3
pushkarev@niic.nsc.ru
2Национальная физическая лаборатория, 110012, Нью-Дели, Индия
Ключевые слова: рентгеновская дифракция в геометрии скользящего падения пучка, пленки состава SiCFe и SiCNFe, ферроцен, grazing incidence X-ray diffraction, films with the compositions SiCFe and SiCNFe, ferrocene
Страницы: 1230-1232
Аннотация
Пленки различного состава синтезированы с помощью метода химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием термического разложения следующих исходных газовых смесей: ферроцена Fe(C5H5)2 и гелия; ферроцена, трис(диэтиламино)силана [(C2H5)2N]3SiH (ТДЭАС) и гелия; ферроцена, 1,1,1,3,3,3–гексаметилдисилазана [(CH3)3Si]2NH (ГМДС) и гелия. Химический состав полученных пленок характеризовался методами ИК и КРС спектроскопии. Фазовый состав пленок изучали с помощью рентгенофазового анализа в геометрии скользящего падения рентгеновского пучка (GIXRD). Установлено, что пленки, выращенные из газовых смесей кремнийорганических соединений (ТДЭАС или ГМДС), ферроцена и гелия, имеют одинаковый химический и фазовый состав SiCxNyFez, в то время как полученные из смеси ферроцена и гелия другой — SiCxFey.
DOI: 10.15372/JSC20150624 |
