Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.224.52.108
    [SESS_TIME] => 1732203241
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 7d91fc514a45e2cb4d498e36981121d1
    [UNIQUE_KEY] => 63aa9ef110bbc932a6252f58ea5ac4da
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2015 год, номер 6

РЕНТГЕНОФАЗОВОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЕРТИКАЛЬНО ОРИЕНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ h-BN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ СМЕСЕЙ БОРАЗИНА И АММИАКА ИЛИ ГЕЛИЯ

И.С. Меренков1, И.А. Касаткин2, М.Л. Косинова1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3
marina@niic.nsc.ru
2Санкт-Петербургский государственный университет, Россия, Санкт-Петербург, Петергоф , Университетский просп., 26
igor.kasatkin@spbu.ru
Ключевые слова: гексагональный нитрид бора, тонкие пленки, PECVD, боразин, наностенки, фазовый состав, hexagonal boron nitride, thin films, PECVD, borazine, nanowalls, phase composition
Страницы: 1227-1229

Аннотация

Методом рентгеновской дифракции в геометрии скользящего падения луча (GIXRD) проведено исследование пленок гексагонального нитрида бора (h-BN), полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из смесей боразина и аммиака или гелия. Впервые были получены дифракционные картины для вертикально ориентированных к подложке слоев нитрида бора. Осажденные пленки состоят из аморфной фазы и нанокристаллической фазы h-BN. Размер нанокристаллитов в пленках, полученных из смесей боразина (B3N3H6) как с аммиаком, так и с гелием, увеличивается с ростом температуры синтеза. Нанокристаллиты являются разноосными и имеют слоистую структуру с межплоскостным расстоянием ~0,35 нм.

DOI: 10.15372/JSC20150623
Скачать pdf-версию статьи