РЕНТГЕНОФАЗОВОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЕРТИКАЛЬНО ОРИЕНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ h-BN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ СМЕСЕЙ БОРАЗИНА И АММИАКА ИЛИ ГЕЛИЯ
"И.С. Меренков1, И.А. Касаткин2, М.Л. Косинова1"
"1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, 630090 Россия, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3
marina@niic.nsc.ru
2Санкт-Петербургский государственный университет, Россия, Санкт-Петербург, Петергоф , Университетский просп., 26
igor.kasatkin@spbu.ru"
Ключевые слова: гексагональный нитрид бора, тонкие пленки, PECVD, боразин, наностенки, фазовый состав, hexagonal boron nitride, thin films, PECVD, borazine, nanowalls, phase composition
Страницы: 1227-1229
Аннотация
Методом рентгеновской дифракции в геометрии скользящего падения луча (GIXRD) проведено исследование пленок гексагонального нитрида бора (h-BN), полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из смесей боразина и аммиака или гелия. Впервые были получены дифракционные картины для вертикально ориентированных к подложке слоев нитрида бора. Осажденные пленки состоят из аморфной фазы и нанокристаллической фазы h-BN. Размер нанокристаллитов в пленках, полученных из смесей боразина (B3N3H6) как с аммиаком, так и с гелием, увеличивается с ростом температуры синтеза. Нанокристаллиты являются разноосными и имеют слоистую структуру с межплоскостным расстоянием ~0,35 нм.
DOI: 10.15372/JSC20150623
|
