ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ МЕТОД ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОГЛАСОВАННОЙ МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ СЕНСОРА НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА НАРУШЕНИЯ ПОЛНОГО ВНУТРЕННЕГО ОТРАЖЕНИЯ
В.С. Терентьев, В.А. Симонов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
terentyev@iae.nsk.su
Ключевые слова: нарушение полного внутреннего отражения, тонкая металлическая плёнка, металл-диэлектрическая интерференционная структура, сенсорика коэффициента преломления, frustrated total internal reflection, thin metal film, metal-dielectric interference structure, refractive index sensorics
Страницы: 89-98
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Представлен экспериментальный метод изготовления сенсора и оптимизации его характеристик на основе металл-диэлектрической структуры (Al + ZnS). Исследован коэффициент отражения света -поляризация) от слоя алюминия в зависимости от его толщины при разных углах падения на длине волны 532 нм. На основании расчётов, которые качественно совпадают с экспериментальными результатами, изготовлена структура, состоящая из согласованных слоёв алюминия и сульфида цинка и имеющая повышенное угловое разрешение по сравнению с алюминиевой плёнкой без диэлектрического покрытия. Оценочный предел детектирования сенсора на основе данной структуры при угловых измерениях составил RIU (единица коэффициента преломления)/
|
