МИКРОФЛЮИДНЫЙ ЭЛЕКТРОГЕНЕРАТОР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЕВОЙ МИКРОКАНАЛЬНОЙ МЕМБРАНЫ
М.А. Паращенко, Н.С. Филиппов, В.В. Кириенко
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13 map@isp.nsc.ru
Ключевые слова: макропористый кремний, микроканальная мембрана, потенциал течения, микрофлюидная система, микрофлюидный электрогенератор
Страницы: 115-125 Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Работа посвящена созданию и характеризации микрофлюидного электрогенератора на основе кремниевой микроканальной мембраны. В экспериментах с использованием деионизованной воды определены напряжение и ток, создаваемые генератором, а также мощность, выделяемая на нагрузочном сопротивлении в зависимости от его величины при прохождении жидкости через мембрану. Произведена оценка эффективности работы созданного устройства. Продемонстрирована возможность применения кремниевых мембран в качестве рабочего элемента микрофлюидного электрогенератора. Предполагается, что при тиражировании устройства могут быть изготовлены генераторы, пригодные для питания маломощных электроприборов. Отмечается возможность использования устройства как сенсорного элемента для определения скорости потока жидкости.
|