Экспериментальное и теоретическое исследование низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа
М.В. Исупов, А.В. Федосеев, Г.И. Сухинин, И.М. УлановвЂ
Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия isupovmikhail@yandex.ru
Ключевые слова: низкотемпературная плазма, индукционный разряд, электронная и ионная кинетика
Страницы: 681-692
Аннотация
Изучены электрофизические и теплофизические характеристики низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа в аргоне в широком диапазоне параметров разряда: плотностей тока разряда — 0,1–0,8 A/см 2, давлений аргона — 15–6000 Па. Разработана упрощенная модель низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа, основанная на одновременном решении уравнения баланса электронов и метастабильных атомов на оси газоразрядной трубки, уравнений баланса для температуры газа и энергии электронов. Выполнен расчет зависимости напряженности электрического поля низкочастотного индукционного разряда трансформаторного типа от давления аргона и тока разряда. Показано, что результаты расчетов хорошо совпадают с результатами измерений и описывают их основные особенности: падающую вольтамперную характеристику разряда и наличие локального минимума в зависимости напряженности электрического поля от давления.
|