Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика 

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.119.163.95
    [SESS_TIME] => 1732187718
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 0bc7950052285713411ad9d2ab89f1c0
    [UNIQUE_KEY] => 8204d5d93435f032b2de0721507751d8
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

    [SESS_OPERATIONS] => Array
        (
        )

)

Поиск по журналу

Химия в интересах устойчивого развития

2014 год, номер 4

Электрохимическая устойчивость оксидов индий-олово (ITO)

А. Г. БЕЛОБАБА, А. Г. ЗЕЛИНСКИЙ, А. А. ГУСЕВ, А. И. МАСЛИЙ
Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения РАН, ул. Кутателадзе, 18, Новосибирск 630128 (Россия)
belobaba@ngs.ru
Ключевые слова: оксиды индий-олово, ITO, катодное восстановление, анодное растворение, мишени магнетронов
Страницы: 417-422

Аннотация

Исследована электрохимическая устойчивость смешанных оксидов индий-олово (ITO) при катодной и анодной обработке в различных растворах. Установлено, что в случае катодной поляризации при потенциалах отрицательнее потенциала начала выделения водорода в соответствующих растворах ITO восстанавливаются до металлов In и Sn с последующим образованием интерметаллидов. Показано, что при анодной обработке на скорость анодного растворения ITO большое влияние оказывают природа кислоты и плотность тока. В HCl скорость растворения меньше, чем в H2SO4, и существенно снижается с ростом концентрации кислоты за счет ускорения побочной реакции выделения Cl2. Электрохимическая активность ITO при катодной и анодной обработке в растворах позволяет использовать электролиз для утилизации отработанных мишеней магнетронов или ITO-скрапов.
Скачать pdf-версию статьи