Численное исследование поля течения алмазоподобной углеродной пленки в реакционной камере циклотронно-резонансного плазмохимического газофазного осаждения
Ф. Л. Ли1, Ч. С. Тай2, Дж. Ч. Леон2
1Центр общего образования Военной академии Республики Китай, 83059 Гаосюн, Тайвань, Китай
fulinlih@gmail.com
2Национальный университет науки и техники Пинтуна, 91201 Пинтун, Тайвань, Китай
chtai@mail.npust.edu.tw
Ключевые слова: алмазоподобный углерод, циклотронно-резонансное плазмохимическое газофазное осаждение, вычислительная гидроаэромеханика, скорость осаждения, однородность
Страницы: 60-73
Аннотация
Анализируется влияние скорости реагирующего газа на свойства пленки с целью определения оптимальных параметров для получения однородной алмазоподобной углеродной пленки в реакционной камере циклотронно-резонансного плазмохимического газофазного осаждения. С использованием методов вычислительной гидродинамики моделируются химические поверхностные реакции, поля течения и температуры, а также процесс тепломассообмена. Из результатов численного моделирования следует, что естественная конвекция и массоперенос оказывают влияние на возвратное течение, а следовательно, и на распределение материала при осаждении. Возникновение возвратного течения обусловлено наличием концевой пластины в верхней части подложки, что приводит к существенному увеличению скорости осаждения. При этом уменьшается однородность поверхности подложки.
|
