Источник ионов с СВЧ-питанием
В. К. Молчанов, О. Я. Савченко
Новосибирск
Страницы: 3-4
Аннотация
Описывается источник ионных пучков, в котором энергия ионов регулируется мощностью СВЧ-поля. Максимальная энергия ионов при частоте 1818 МГц около 30 кэВ, максимальный ток, проведенный на расстояние 85 см, 3 мА.
|