КРЕМНИЕВЫЕ ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ МОЩНОГО МОНОХРОМАТИЧЕСКОГО ТЕРАГЕРЦОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
А.Н. Агафонов1, Б.О. Володкин1, А.К. Кавеев2, Б.А. Князев3,4, Г.И. Кропотов2, В.С. Павельев1,5, В.А. Сойфер1,5, К.Н. Тукмаков1, Е.В. Цыганкова2, Ю.Ю. Чопорова3,4
1Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С. П. Королева, 443086, г. Самара, Московское шоссе, 34
andr_agafonov@mail.ru
2ЗАО «Тидекс», 194292, Санкт-Петербург, ул. Домостроительная, 16
andreykaveev@tydex.ru
3Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11
knyazev@inp.nsk.su
4Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
yulia.choporova@inp.nsk.su
5Институт систем обработки изображений РАН, 443001, г. Самара, ул. Молодогвардейская, 151
nano@ssau.ru
Ключевые слова: ДОЭ, терагерцовое излучение
Страницы: 99-105
Подраздел: ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Приведены описание технологии изготовления и результаты исследования кремниевых бинарных дифракционных оптических элементов (ДОЭ): дифракционной линзы и дифракционного делителя пучка 1 : 2 терагерцового диапазона спектра с диаметром апертуры 30 мм. Элементы были изготовлены в двух вариантах: без покрытия и с антиотражающим покрытием из парилена C. Характеристики ДОЭ исследованы в пучке Новосибирского лазера на свободных электронах при длине волны 141 мкм. Приведены результаты исследования лучевой стойкости покрытия, которое выдержало без повреждений облучение со средней плотностью мощности излучения 4 кВт/см2, при этом пиковая мощность в импульсе 100 пс составляла почти 8 МВт/см2. Показано, что экспериментальные оценки дифракционной эффективности элементов с нанесённым антиотражающим покрытием находятся в хорошем соответствии с теоретическими оценками.
|
