А. Е. Булышев, Н. В. Денисова, Н. Г. Преображенский, А. Е. Суворов
Новосибирск
Страницы: 3-7
Аннотация
Предложена математическая модель плазмы безэлектродного ВЧ-разряда в приближении максвелловского распределения электронов по энергиям и пренебрежении объемной рекомбинацией. На ее основании сделаны оценки для мощности разряда и характерного значения электронной плотности как функции внешнего поля. Проведенный для аргоновой плазмы расчет позволил получить количественные данные по распределению электронной концентрации, температуры и электромагнитного поля в пространстве.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее