РОЛЬ НЕСТАЦИОНАРНЫХ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ НАНОСЕКУНДНОГО LCVD
Д.В. Чесноков, В.В. Чесноков, В.Н. Москвин, Д.С. Михайлова
Сибирская государственная геодезическая академия, Новосибирск, Россия
phys003@list.ru
Ключевые слова: LCVD, лазерный пиролиз, адсорбция, тонкие пленки, топологический рисунок, нелинейные явления
Страницы: 119-128
Аннотация
Исследованы тепловые процессы при формировании топологических рисунков методом LCVD с лазерными импульсами наносекундной и субнаносекундной длительностью. Показано, что скорость изменения температуры в облучаемом пятне на поверхности оказывает существенное влияние на разрешающую способность метода. Приведена оценка влияния нелинейной зависимости оптического поглощения от толщины пленки на начальную скорость ее роста на прозрачных подложках.
|