Доклады АН ВШ РФ 2013 номер

Доклады АН ВШ РФ

2013 год, номер

РОЛЬ НЕСТАЦИОНАРНЫХ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ НАНОСЕКУНДНОГО LCVD

Д.В. Чесноков, В.В. Чесноков, В.Н. Москвин, Д.С. Михайлова
Ключевые слова: LCVD, лазерный пиролиз, адсорбция, тонкие пленки, топологический рисунок, нелинейные явления
Страницы: 119-128

Аннотация

Исследованы тепловые процессы при формировании топологических рисунков методом LCVD с лазерными импульсами наносекундной и субнаносекундной длительностью. Показано, что скорость изменения температуры в облучаемом пятне на поверхности оказывает существенное влияние на разрешающую способность метода. Приведена оценка влияния нелинейной зависимости оптического поглощения от толщины пленки на начальную скорость ее роста на прозрачных подложках.

Скачать pdf-версию статьи

Издательство СО РАН

Главная – Журналы – Доклады АН ВШ РФ 2013 номер

Поиск по журналу