Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.138.125.197
    [SESS_TIME] => 1721381946
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 3457afe2a1c11a63fa30e20e2cac576a
    [UNIQUE_KEY] => 266dd4c6b527cc529c06f10a5f80bc97
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Доклады АН ВШ РФ

2013 год, номер

РОЛЬ НЕСТАЦИОНАРНЫХ ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ НАНОСЕКУНДНОГО LCVD

Д.В. Чесноков, В.В. Чесноков, В.Н. Москвин, Д.С. Михайлова
Сибирская государственная геодезическая академия, Новосибирск, Россия
phys003@list.ru
Ключевые слова: LCVD, лазерный пиролиз, адсорбция, тонкие пленки, топологический рисунок, нелинейные явления
Страницы: 119-128

Аннотация

Исследованы тепловые процессы при формировании топологических рисунков методом LCVD с лазерными импульсами наносекундной и субнаносекундной длительностью. Показано, что скорость изменения температуры в облучаемом пятне на поверхности оказывает существенное влияние на разрешающую способность метода. Приведена оценка влияния нелинейной зависимости оптического поглощения от толщины пленки на начальную скорость ее роста на прозрачных подложках.