Главная – Журналы – Прикладная механика и техническая физика / Journal of Applied Mechanics and Technical Physics 1985 номер ...

Для случаев сухого и влажного воздуха исследован безэлектродный ВЧ-разряд в кварцевых трубках с внутренним диаметром 0,01–0,09 м и длиной 0,35–2,00 м при давлениях 60–4000 Па в диапазоне частот 5 МГц – 10 ГГц. Установлено, что форма свечения зависит от давления газа и его влажности. Экспериментальным путем получено 15-кратное уменьшение объема плазмы емкостного ВЧ-разряда за счет введения в него паров воды. Для обоих случаев определена концентрация плазмы.