Диффузионное взаимодействие ступеней роста при вакуумном осаждении
А. А. Бочкарев, В. И. Полякова
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН,
630090 Новосибирск
E-mail: anaboch@itp.nsc.ru
Страницы: 105-111
Аннотация
С использованием модифицированной модели сорбции Ленгмюра исследовано взаимодействие двух прямолинейных параллельных ступеней роста в условиях насыщения. Показано, что при сближении ступеней роста скорость их перемещения уменьшается, чем объясняется явление затрудненного слияния островков конденсата в процессах вакуумного осаждения в режиме послойного заполнения атомных слоев. Указана причина этого явления: наложение поверхностных диффузионных слоев, представляющих собой источник материала для питания ступеней роста. Выявлены особенности поверхностной диффузии и нуклеации при условиях, близких к условиям насыщения. Показано, что нуклеация островков нового атомного слоя при пересыщении и нуклеация островков пустых вакансий в слое, расположенном ниже, при условиях ненасыщения асимметричны. Полученные результаты могут быть использованы для развития технологии создания тонких пленок вакуумным осаждением.
|
