СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ ОТРАЖАТЕЛЬНЫХ КАЛИБРОВОЧНЫХ РЕШЁТОК
В. П. Корольков1,2, А. С. Конченко1,2
1Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН
2Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Новосибирский государственный университет»
korolkov@iae.nsk.su, as_konch@ngs.ru
Ключевые слова: измерение глубины микрорельефа, калибровочные структуры, спектрофотометрический метод, рефлексометрия
Страницы: 119-127
Аннотация
Предложен метод измерения глубины калибровочных решёток, основанный на измерении спектральной зависимости дифракционной эффективности в нулевом порядке дифракции на отражение. Погрешности метода определяются тремя основными факторами: смещением максимумов спектра из-за наклона стенок канавок решётки, ошибкой задания длины волны спектрофотометра и расходимостью пучка света в установке. Теоретически показано, что в зависимости от технологии изготовления решёток и измерительного оборудования погрешность измерения лежит в пределах 0,25-1 %. Проведена экспериментальная апробация метода на промышленных калибровочных решётках. Обсуждены диапазоны применимости метода с точки зрения геометрических параметров микроструктуры отражательных решёток и характеристик используемого спектрофотометра.
|
