Эмиссия димеров с подложки при вакуумном осаждении тонких пленок
А. А. Бочкарев, В. И. Полякова
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН
anaboch@itp.nsc.ru
Ключевые слова: сорбция, нуклеация, димеры, флуктуация,
эмиссия димеров
Страницы: 103-113
Аннотация
Вычислена эмиссия димеров с подложки в паровую среду в случае осаждения пара серебра на идеальную подложку. Показано, что димеры формируются на подложке вследствие случайных столкновений атомов при их поверхностной миграции, а эмиссия димеров обусловлена тепловыми флуктуациями кристаллической решетки подложки. В результате расчетов, выполненных на основе модифицированной модели сорбции Ленгмюра, установлено, что эмиссия имеет место преимущественно на стадии заполнения первого атомного слоя на подложке и в режимах "срыва конденсации", когда даже при больших степени пересыщения и частоте нуклеации интенсивной конденсации не происходит, поскольку энергия связи атомов пара с подложкой мала. Обнаружена связь эмиссии димеров с интенсивностью конденсации и микрошероховатостью конденсата на подложке.
|
