Исследована возможность реализации режима самораспространяющегося горения газовой смеси SiH4—NH3—О2 и SiH4—2 при содержании кислорода 0–2 %. Расчет равновесного состава указывает на возможность образования целевых продуктов — Si, Si3N4. Экспериментально установлено, что распространение фронта химической реакции в самоподдерживающемся режиме с образованием указанных выше продуктов протекает только при наличии кислорода. Показано, что химическая индукция, приводящая к расходованию до 60 % начального моносилана, имеет цепную природу.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее