ИЗУЧЕНИЕ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК (HFO2)x(Al2O3)1-x/Si МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
В. В. Каичев1, Ю. В. Дубинин1, Т. П. Смирнова2, М. С. Лебедев2 1 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН vvk@catalysis.ru
Ключевые слова: диоксид гафния, оксид алюминия, алюминат гафния, бинарный раствор, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, послойный анализ
Страницы: 495-502
Аннотация
Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) с применением методики послойного анализа проведено исследование пленок твердых растворов (HfO2)x(Al2O3)1-x, синтезированных методом химического осаждения из газовой фазы. Продемонстрирована возможность определения структуры твердых бинарных растворов на основе анализа РФЭ спектров.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее