Пример точного решения задачи о распределении ионизованной примеси в приповерхностной области полупроводника
А. А. Папин, А. П. Мажирин*
Алтайский государственный университет, 656099 Барнаул *Институт физики полупроводников СО РАH, 630090 Новосибирск
Страницы: 17-24
Аннотация
Построено точное решение нелинейной задачи, в которой определяются электростатический потенциал и профиль распределения ионизованной примеси в приповерхностной области полупроводника.
|